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洁净度要求高的接触面（接触面）
对洁净度要求高的接触面一般是：制造生产地点及其周边区域，会直接污染产品，对生产过程造成影响的场所。这些接触面需要保持高的洁净度。单一方向气流的储物柜，作业台，工作隔离区等的隔离装置，通常这些接触面需要管控洁净度。
真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的，一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提，对除去大颗粒异物，玻璃碎屑效果明显，但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行，以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA（滤网）、ULPA（低效滤网）及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器，在拖地时和拖完后，地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除，起到干燥作用。
日常清扫是为了防止异物污染到重要区域，按照合适的频率实行的所有相关的作业。无尘室清扫根据洁净程度评估，按照一日数次，一日一次或是数日一次的频率进行。更衣室、搬入区、大厅等的公共区域去除废弃物采取的真空除尘器，地面水拖拭，其他表面擦拭等是可以在生产作业时间内进行的。无尘室各个房间，按照产品和制造工程的重要度，对清扫流程进行的规定并文件化。更衣室和活动区域至少要一天一次清扫，因为这些区域都是人员活动密集区，异物聚集程度很高。因此，为了确保洁净度，防止异物转移污染，这些区域要比无尘室内一般区域清扫频度高，像无尘室区域一样频繁的清扫。
