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无尘车间的温度湿度控制由其生产工艺决定，但其精度同时也需看其房间内的大小比如计量室、光栅刻线室、精密仪器制造和装配车间等。
无尘净化车间主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触的大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。
为了无尘车间的洁净度，温度、湿度等参数，往无尘车间送入大量的空气，送风的风机和供水的水泵等动力设备也要消耗可观的能量。
