精密位移定位技术根据定位行程的不同可分为，微行程和大行程定位技术。微行程定位技术是指几纳米至几百微米的定位行程的精密定位；大行程定位技术是指几毫米至几百毫米的定位行程的精密定位。
在集成电路中，要求承载晶圆的工作台能在多维方向上进行毫米级行程内的具有纳米级定位精度的定位才能实现对直径较大的晶圆的加工制造
在衍射光栅刻划机中，要求承载光栅毛坯的工作台能够实现几百毫米定位行程内具有纳米级定位精度的精密定位，才能够实现大面积衍射光栅的刻划。
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